Kombination von Hohlkathodenbogenentladung (HCD) und thermischer Bogenentladung (ARC) zur Herstellung und Eigenschaftsuntersuchung ternärer und quaternärer Hartstoffschichten im PVD-Prozeß : Schlußbericht, Abschluß des Vorhabens am 30.4.1993 ; [Laufzeit: 1.8.91 - 30.4.93]

Kombination von Hohlkathodenbogenentladung (HCD) und thermischer Bogenentladung (ARC) zur Herstellung und Eigenschaftsuntersuchung ternärer und quaternärer Hartstoffschichten im PVD-Prozeß Schlußbericht, Abschluß des Vorhabens am 30.4.1993 ; [Laufzeit: 1.8.91 - 30.4.93]

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ebersbach, G. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Rother, B. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Schwäbisch Gmünd FEM 1993
Schlagworte:
Forschungsbericht > Hohlkathodenentladung > Bogenentladung > Hartstoff > Beschichtung > PVD-Verfahren
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen AIF 389 D
Beschreibung:37 S.
Ill., graph. Darst.