Verbundprojekt HOMS Teilprojekt 1: Spezielle interferenzoptische Messsysteme für die Präzisionsfertigung : Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens vom: 01.05.2004 bis: 30.06.2006
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Ilmenau
TU, Fak. für Maschinenbau, Inst. für Prozessmess- und Sensortechnik
2006
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