Ion-solid interactions fundamentals and applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Nastasi, Michael (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mayer, James W. (VerfasserIn), Hirvonen, James K. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge Cambridge University Press 2004
Ausgabe:	1. paperback ed.
Schriftenreihe:	Cambridge solid state science series
Schlagworte:	Ion bombardment > Ion implantation > Industrial applications > Solids > Effect of radiation on > Ionenimplantation > Ionenstrahlbearbeitung
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