Integration optischer Sensoren in Anlagen der Oberflächen- und Schichttechnologie zur Erhöhung der Prozesssicherheit und zur Prozessregelung : gemeinsamer F&E-Abschlussbericht zum bmbf-Verbundprojekt ; Förderschwerpunkt "Forschung für die Produktion von morgen", Themenfeld "Anwendung optischer Technologien in der Produktion"

Integration optischer Sensoren in Anlagen der Oberflächen- und Schichttechnologie zur Erhöhung der Prozesssicherheit und zur Prozessregelung gemeinsamer F&E-Abschlussbericht zum bmbf-Verbundprojekt ; Förderschwerpunkt "Forschung für die Produktion von morgen", Themenfeld "Anwendung optischer Technologien in der Produktion"

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Aixtron AG (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen u.a. 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht > Oberflächenbehandlung > Schichttechnik > Prozessregelung > Optischer Sensor
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