Integration optischer Sensoren in Anlagen der Oberflächen- und Schichttechnologie zur Erhöhung der Prozesssicherheit und zur Prozessregelung gemeinsamer F&E-Abschlussbericht zum bmbf-Verbundprojekt ; Förderschwerpunkt "Forschung für die Produktion von morgen", Themenfeld "Anwendung optischer Technologien in der Produktion"

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Aixtron AG (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen u.a. 2006
Schlagworte:	Forschungsbericht > Oberflächenbehandlung > Schichttechnik > Prozessregelung > Optischer Sensor
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 02PD2430/02PD2434. - Verbund-Nr. 01022431 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:	134 Bl. Ill., graph. Darst.