Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe

Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Schlaak, Helmut F. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin u.a. VDE-Verl. 2007
Schriftenreihe:GMM-Fachbericht 53, CD-ROM
Schlagworte:
Konferenzschrift > CD-ROM > Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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