Simulation des reaktiven Magnetron-Sputterns

Zugl.: Gießen, Univ., Diss., 2006

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Pflug, Andreas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Fraunhofer-IRB-Verl. 2007
Schriftenreihe:	Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik 25
Schlagworte:	Hochschulschrift > Reaktives Sputtern > Magnetronsputtern > Simulation
Online Zugang:	Inhaltstext
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