Simulation des reaktiven Magnetron-Sputterns
Zugl.: Gießen, Univ., Diss., 2006
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer-IRB-Verl.
2007
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik
25 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltstext |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Tag hinzufügen Keine Ergebnisse!