Greiferbaukasten für die Montage von Mikrosystemen Abschlussbericht des Fraunhofer IOF Jena zum Gesamtvorhaben ; Laufzeit: 1.10.2000 - 31.3.2004

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Beckert, Erik (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mohaupt, Matthias (VerfasserIn), Eberhardt, Ramona (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jena Fraunhofer IOF Institut Angewandte Optik u. Feinmechanik 2004
Schlagworte:	Forschungsbericht > Halbleiterbauelement > Mikrosystemtechnik > Montage > Greifer > Modularität
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