Modulare Komponenten zur höchstauflösenden Positionsmessung : MKHP ; Teilvorhaben Mahr: Messsystemintegration in hochgenaue Geometriemessgeräte ; Schlussbericht ; Förderkonzept "Mikrosytemtechnik 2000+" des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF)

Modulare Komponenten zur höchstauflösenden Positionsmessung MKHP ; Teilvorhaben Mahr: Messsystemintegration in hochgenaue Geometriemessgeräte ; Schlussbericht ; Förderkonzept "Mikrosytemtechnik 2000+" des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF)

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Beutler, Andreas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Göttingen Mahr GmbH ca. 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV1650. - Verbund-Nr. 01022822
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Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:10 Bl.
Ill., graph. Darst.