Proceedings of E-MRS Spring Meeting Symposium L on Characterization of High-K Dielectric Materials Nice, France, 29 May - 2 June 2006

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	European Materials Research Society (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Dabrowski, J. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Oxford u.a. Pergamon 2006
Schriftenreihe:	Materials science in semiconductor processing Special issue 9.2006,6
Schlagworte:	Konferenzschrift
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