Special issue: High Aspect Ratio Micro Structure Technology Workshop, Gyenogju, Korea, 10 - 13 June 2005 HARMST

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Kwon, T. H. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin u.a. Springer 2007
Schriftenreihe:	Microsystem technologies 13.2007,3/4
Schlagworte:	Konferenzschrift
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