High purity silicon 9 : [proceedings of the Ninth High Purity Silicon Symposium held in Cancun, Mexico at the 210th meeting of the Electrochemical Society, Oct. 29 - Nov. 3, 2006]

High purity silicon 9 [proceedings of the Ninth High Purity Silicon Symposium held in Cancun, Mexico at the 210th meeting of the Electrochemical Society, Oct. 29 - Nov. 3, 2006]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Claeys, C. L. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Society 2006
Schriftenreihe:ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 3,4
Schlagworte:
Silicon crystals > Crystal growth > Silicon > Defects > Semiconductor wafers > Congresses > Konferenzschrift
Online Zugang:Table of contents
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