Fabrication and characterization of a microheater on GaAs for gas sensors

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Information technology and electrical engineering - devices and systems, materials and technologies for the future
Weitere Verfasser:	Hotovy, Ivan (BerichterstatterIn), Lalinsky, Tibor (BerichterstatterIn), Rehacek, Vlastimil (BerichterstatterIn), Spieß, Lothar (BerichterstatterIn), Gubisch, Maik (BerichterstatterIn), Hascik, Stefan (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2006
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