Mikrostrukturierte Fingerelektroden als Plasmaquellen

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2005

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sichler, Philipp (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2006
Schriftenreihe:	Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik 17
Schlagworte:	Hochschulschrift > Mikroelektrode > Plasmabrenner > Herstellung > Mikromechanik > Lithografie > Galvanische Abscheidung
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