Abschlussbericht des Teilprojektes "Modulare Präzisionsantriebe für MEMS und Laseranlagen" Laufzeit: 01.04.2002 - 31.03.2005

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org
Körperschaft:	TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mollenhauer, O. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Ilmenau 2005
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