Tagungsband / 9. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen im Rahmen der gemeinsamen Statusseminare zu den BMBF-Verbundprojekten InFON, LONGLIFE, MODSYS, REMIKOS ; 31. März und 1. April 2003, Bielefeld

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen (VerfasserIn), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn), VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	John, W. (BerichterstatterIn), Breckenfelder, Ch. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Paderborn FhG IZM - Advanced System Engineering 2003
Ausgabe:	Fotomechanischer Ms.-Nachdr.
Schlagworte:	Konferenzschrift > Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > CAD > Makrosimulation > Prozessmanagement
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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