Device and process technologies for MEMS, microelectronics, and photonics IV : 12 - 14 December 2005, Brisbane, Australia ; [conference ... is part of the SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology, Brisbane, 11 - 15 December 2005]

Device and process technologies for MEMS, microelectronics, and photonics IV 12 - 14 December 2005, Brisbane, Australia ; [conference ... is part of the SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology, Brisbane, 11 - 15 December 2005]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Queensland University of Technology (BerichterstatterIn), International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Chiao, Jung-Chih (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2006
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 6037
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Photonics > Photomechanical processes > Photolithography > Konferenzschrift
Online Zugang:Table of contents
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