Verbundprojekt: "Equipment zur Herstellung nanoporöser SiO 2-Schichten als low-k Dielektrikum für high performance ICs", Teilvorhaben der TU Chemnitz: Verfahrensentwicklung und -optimierung

Verbundprojekt: "Equipment zur Herstellung nanoporöser SiO 2-Schichten als low-k Dielektrikum für high performance ICs", Teilvorhaben der TU Chemnitz: Verfahrensentwicklung und -optimierung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz-Zwickau Zentrum für Mikrotechnologien (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Geßner, T. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz ca. 2003
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 03N1070C. - Verbund-Nr. 01017684. - Literaturangaben
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:45 Bl.
Ill., graph. Darst