Verbundprojekt: "Equipment zur Herstellung nanoporöser SiO 2-Schichten als low-k Dielektrikum für high performance ICs", Teilvorhaben der TU Chemnitz: Verfahrensentwicklung und -optimierung

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Zentrum für Mikrotechnologien (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Geßner, T. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz ca. 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht
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