Modeling and optimization of cluster tools in semiconductor manufacturing

Zugl.: Würzburg, Univ., Diss., 2004

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Dümmler, Mathias (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Würzburg Inst. für Informatik, Lehrstuhl für Verteilte Systeme 2004
Schriftenreihe:	Würzburger Beiträge zur Leistungsbewertung verteilter Systeme 2004,1
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht
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