Tribology of nanopositioning

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser:	Liu, Yonghe (BerichterstatterIn), Hild, Wolfram (BerichterstatterIn), Scherge, Matthias (BerichterstatterIn), Schäfer, Jürgen A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
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