Positionierung im Sub-Micrometerbereich durch Einleitung mechanischer Impulse

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
1. Verfasser:	Cermann, Christian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Frank, Thomas (VerfasserIn), Theska, René (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
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