Optomechatronic micro/nano devices and components : 5 - 7 December 2005, Sapporo, Japan

Optomechatronic micro/nano devices and components 5 - 7 December 2005, Sapporo, Japan

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Hokkaidō Daigaku (BerichterstatterIn), Cheo-Chadonghwa-Sisut'em-Konghakhoe (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Katagiri, Yoshitada (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2005
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 6050
Schlagworte:
Konferenzschrift > Mechatronik > Optoelektronisches Bauelement > MEMS > Nanotechnologie
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