Two- and three-dimensional methods for inspection and metrology III 24 - 26 October 2005, Boston, Massachusetts, USA

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Harding, Kevin G. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 2005
Schriftenreihe:	Proceedings of SPIE 6000
Schlagworte:	Konferenzschrift > Optische Messtechnik > Dimension 3
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