Defects in High-k gate dielectric stacks : nano-electronic semiconductor devices

Defects in High-k gate dielectric stacks nano-electronic semiconductor devices

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Advanced Research Workshop on Defects in Advanced High-K Dielectric Nano-Electronic Semiconductor Devices (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Gusev, Evgeni (HerausgeberIn), Gusev, Evgenij (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Dordrecht Springer 2006
Schriftenreihe:NATO science series Series 2, Mathematics, physics and chemistry 216 [i.e.] 220
Schlagworte:
Gate array circuits > Dielectrics > Semiconductors > Defects > Konferenzschrift > Nanoelektronik
Online Zugang:Cover
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Beschreibung
Beschreibung:X, 492 S
Ill., graph. Darst.
ISBN:9781402043659
978-1-4020-4365-9
1402043651
1-4020-4365-1