Defects in High-k gate dielectric stacks nano-electronic semiconductor devices

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Advanced Research Workshop on Defects in Advanced High-K Dielectric Nano-Electronic Semiconductor Devices (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gusev, Evgeni (HerausgeberIn), Gusev, Evgenij (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dordrecht Springer 2006
Schriftenreihe:	NATO science series Series 2, Mathematics, physics and chemistry 216 [i.e.] 220
Schlagworte:	Gate array circuits > Dielectrics > Semiconductors > Defects > Konferenzschrift > Nanoelektronik
Online Zugang:	Cover Inhaltstext Publisher description Table of contents only
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