Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum Aufbau hybrid-optischer Systeme

Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Beckert, Erik (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Theska, René (BerichterstatterIn), Thust, Heiko (BerichterstatterIn), Tünnermann, Andreas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:	Hochschulschrift > Optisches Bauelement > Elektrooptisches Bauelement > Optisches System > Mikrobearbeitung > Mikrosystemtechnik > Mikromechanik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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