Extremer Leichtbau von Messspiegeln für die interferometrische Positionsmessung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Mechanical engineering from macro to nano
Weitere Verfasser:	Frank, Thomas (BerichterstatterIn), Lotz, Markus (BerichterstatterIn), Hackel, Tobias (BerichterstatterIn), Theska, René (BerichterstatterIn), Höhne, Günter (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
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