Tribology of nanopositioning

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Mechanical engineering from macro to nano
Weitere Verfasser:	Liu, Yonghe (BerichterstatterIn), Hild, Wolfram (BerichterstatterIn), Scherge, Matthias (BerichterstatterIn), Schäfer, Jürgen A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
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