Tribology of nanopositioning

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Mechanical engineering from macro to nano
Weitere Verfasser: Liu, Yonghe (BerichterstatterIn), Hild, Wolfram (BerichterstatterIn), Scherge, Matthias (BerichterstatterIn), Schäfer, Jürgen A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2005
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