Silicon wafer residual stresses determination by evaluating of the dynamic response

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 2: [Vortragsreihen
Weitere Verfasser:	Vaněk, Oldrich (BerichterstatterIn), Hučko, B. (BerichterstatterIn), Držik, M. (BerichterstatterIn), Breternitz, Volkmar (BerichterstatterIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1999
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