Elektrodynamischer Planarantrieb mit integrierter magnetischer Führung unter Verwendung dünner magnetischer Schichten

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 2: [Vortragsreihen
1. Verfasser:	Kube, Harald (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kallenbach, Eberhard (VerfasserIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1999
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