Abschlußbericht zum Teilvorhaben "Grundlegende Untersuchungen zur Anpassung des Strahlprofils von Breitstrahlionenquellen" im Verbundprojekt "Strahlprofilsteuerung großflächiger Ionenstrahlquellen für die Ultrapräzisionsbearbeitung" Laufzeit des Vorhabens: 01.02.2001 bis 30.09.2004

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leipzig IOM ca. 2004
Schlagworte:	Forschungsbericht > Ultrapräzisionsbearbeitung > Sputtern > Ionenstrahl > Strahlprofil > Steuerungstechnik
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