Smart sensors, actuators, and MEMS II : 9 - 11 May 2005, Seville, Spain

Smart sensors, actuators, and MEMS II 9 - 11 May 2005, Seville, Spain

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: SPIE, The International Society for Optical Engineering Europe (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Cané, Charles (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2005
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 5836
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses > Microtechnology > Actuators > Detectors > Scanning systems > Konferenzschrift > Intelligenter Sensor > Aktor > MEMS
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