Special section of the micromechanics section of sensors and actuators based on contributions revised from the technical digest of the 2004 Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop Hilton Head Island, SC, USA, 6 - 10 June 2004

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Solid State Sensor, Actuator, and Microsystems Workshop (VerfasserIn), Transducers Research Foundation (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2005
Schriftenreihe:Sensors and actuators <Lausanne> / A 122.2005,1 $ Special issue
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:176 S
zahlr. Ill. und graph. Darst