Kontaminationsfreier und bruchtoleranter Transport von Siliziumscheiben durch eine Hochtemperaturzone Abschlußbericht ; Akronym: KoTrans ; Laufzeit: 01.05.2000 - 31.05.2003
Gespeichert in:
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Niedereschach
2003
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 0329861 C. - Verbund-Nr. 01017907 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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| Beschreibung: | 30 S Ill., graph. Darst |