The Fifth International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST [... was held in Monterey, CA, USA in June 2003] Pt. 1

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	HARMST (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hruby, Jill (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin u.a. Springer 2004
Schriftenreihe:	Microsystem technologies 10.2004,6-7
Schlagworte:	Konferenzschrift
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