Semiconductor measurement technology spreading resistance analysis for silicon layers with nonuniform resistivity

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dickey, David H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ehrstein, James R. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Washington, DC U.S. Gov. Print. Off. 1979
Schriftenreihe:	Semiconductor measurement technology 48
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