Obrabotka poluprovodnikovych materialov

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Novikov, N. V. (BerichterstatterIn), Karban', Valerij Ivanovič (BerichterstatterIn), Bertol'di, V. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	rus
Veröffentlicht:	Kiev Naukova Dumka 1982
Schlagworte:	Halbleitertechnologie > Halbleiterwerkstoff > Deformationsverhalten > Deformation > Abrieb > Schleifen
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