Entwicklung eines Brennersystems zur Abscheidung oxidischer Schichten mittels Flammenpyrolyse : Schlußbericht für den Zeitraum: 01.03.01 bis 28.02.03

Entwicklung eines Brennersystems zur Abscheidung oxidischer Schichten mittels Flammenpyrolyse Schlußbericht für den Zeitraum: 01.03.01 bis 28.02.03

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Körperschaft: Innovent e.V. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena 2003
Schlagworte:
Forschungsbericht > Zerstäubungsbrenner > Abscheidung > Pyrolyse
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