Micro- and nanoelectronics 2003 : 6 - 10 October 2003, Zvenigorod, Russia ; [ICMNE-2003]

Micro- and nanoelectronics 2003 6 - 10 October 2003, Zvenigorod, Russia ; [ICMNE-2003]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Fiziko-Technologičeskij Institut (BerichterstatterIn), ICMNE (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Valiev, Kamil A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2004
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 5401
Schlagworte:
Microelectronics > Nanotechnology > Lithography > Photonics > Materials > Konferenzschrift
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