Nano-Raunormale für die Kalibrierung von Rastersondenmikroskopen, Teilvorhaben: Fertigung durch Nanoschleifen ; Schlußbericht des Institutes für Mikrotechnologie zum Verbundprojekt des BMBF ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 01.01.2000 - 30.06.2003

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Institut für Mikrotechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gatzen, Hans-Heinrich (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Hannover 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht > Rasterkraftmikroskop > Kalibrieren > Normal > Rauigkeitsmessung > Schleifen > Ultrapräzisionsbearbeitung
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