Device and process technologies for MEMS, microelectronics, and photonics III : 10 - 12 December 2003, Perth, Australia ; [conference ... is part of the SPIE's 2003 Symposium on Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology]

Device and process technologies for MEMS, microelectronics, and photonics III 10 - 12 December 2003, Perth, Australia ; [conference ... is part of the SPIE's 2003 Symposium on Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: University of Western Australia (BerichterstatterIn), Conference on Device and Process Technologies for MEMS, Microelectronics, and Photonics (BerichterstatterIn), Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Chiao, Jung-Chih (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2004
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 5276
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses > Photonics > Photomechanical processes > Photolithography > Konferenzschrift
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