Thin films - stresses and mechanical properties X : symposium held December 1 - 5, 2003, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; [at the 2003 MRS fall meeting]

Thin films - stresses and mechanical properties X symposium held December 1 - 5, 2003, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; [at the 2003 MRS fall meeting]

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Corcoran, Sean G. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Warrendale, Pa. Materials Research Society 2004
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 795
Schlagworte:
Konferenzschrift > Dünne Schicht > Mechanische Eigenschaft > Spannungsanalyse
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