Interlayer dielectrics for semiconductor technologies

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Murarka, Shyam P. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Murarka, S. P. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam, Heidelberg u.a. Elsevier c 2003
Schlagworte:	Dielectrics > Semiconductor wafers > Halbleiterbauelement > Halbleitertechnologie > Dielektrische Schicht
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