The selection of MEMS actuators and sensors

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Bell, D. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge Dep. of Engineering, Univ. 2003
Schriftenreihe:	CUED/C-MICROMECH/TR 85
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