Mikro-System-Technik Chemnitz '03 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003

Literaturangaben

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 2003
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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