A new SiC/HfB 2 based micro hotplane for metal oxide gassensors

Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Solzbacher, Florian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Doll, Theodor (BerichterstatterIn), Buff, Werner (BerichterstatterIn), Schütze, A. (BerichterstatterIn), Vellekoop, M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2003
Schlagworte:
Hochschulschrift > Mikrosensor > Metalloxid-Gassensor > Temperatursensor > Heißleiter > Siliciumcarbid > Hafniumborid > Gassensor
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