Oxidische Schichten Abschlußbericht zum Einzelvorhaben im Rahmen des MaTech-Programms

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Siemens Aktiengesellschaft Corporate Technology (CT) (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Krüger, U. (BerichterstatterIn), Arndt, A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Siemens AG 2002
Schriftenreihe:	Verschleißfeste PVD-/CVD-Trockenschmierstoffschichten für die umweltschonende und innovative Fertigung Teilvorhaben 2, [Siemens AG]
Schlagworte:	Forschungsbericht
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