Overall Equipment Effectiveness (OEE), neues Konzept zur Effizienzsteigerung in der Halbleiterfertigung Kurzbezeichnung: OEE ; Berichtszeitraum: 01.11.1999 - 31.10.2002 ; Abschlussbericht

OEE: overall equipment effectiveness, ROI: return of invest, GSD: implanter typ of company Axelis

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Zentrum Mikroelektronik Dresden (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Ehrlich, Thomas (BerichterstatterIn), Köhler, Rudi (BerichterstatterIn), Rödel, Thomas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht
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